CDG-500 电容薄膜规管
Agilent CDG-500 系列温度补偿电容薄膜规管可以在高压范围内提供较高精度。可提供从 1000 Torr 至 1 Torr 的全量程测量。CDG-500 系列采用耐腐蚀的超纯氧化铝瓷隔膜,可提供超常的信号稳定性,并具有从大气环境中快速恢复、预热时间短和坚固性的特点。
特性
- 全量程从 1 至 1000 Torr,按钮调零,可选设定点控制使一体化更加方便
- 优异的长期信号稳定性和重现性
- 从大气压下恢复迅速,启动后迅速达到稳定状态,缩短了过程循环时间
- 采用耐腐蚀陶瓷传感器和屏蔽保护,确保了坚固耐用
性能指标
技术指标
测量范围(全量程) | Torr | 1000 | 100 | 10 | 1 | |||
Pa | 133,322 | 13,332 | 1,333 | 133 | ||||
mbar | 1333 | 133 | 13.3 | 1.3 | ||||
读数 (%) | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | ||||
温度效应 | 零 | 全量程%/°C | 0.005 | 0.005 | 0.005 | 0.015 | ||
零 | 跨度 | 读数 (%)/°C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | ||
分辨率 | 全量程% | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | |||
压力 | kPa(压力) | 400 | 260 | 260 | 260 | |||
读数 | 全量程% | 0.01 | ||||||
建议读数 | 全量程% | 0.05 | ||||||
建议控制压力 | 全量程% | 0.05 | ||||||
温度 | 操作(周围环境) | 烘烤温度 | 储存 | |||||
(法兰处)2 | ||||||||
5 到 50 ℃ | < 110 °C | –40 到 65 °C | ||||||
电源电压 | 14 到 30 VDC | |||||||
能耗 | < 1 W | |||||||
输出信号(模拟) | 0 到 10 VDC | |||||||
响应时间 | 30 ms | |||||||
防护等级 | IP30 | |||||||
电气连接 | D-Sub,15 针,内螺纹 | |||||||
设定点3 — 二 (2) 个设定点,SP 1 和 SP 2 | 继电器触点 | 滞后 | ||||||
30 VDC;< 0.5 ADC | 全量程的 1% | |||||||
暴露于真空中的材料 | 氧化铝陶瓷 (Al2O3),Vacon 704,不锈钢 (AlSl 316L5) AgCuTi 钎焊,密封玻璃 |
外形图