FRG-700/702 Pirani Inverted Magnetron Gauge
安捷伦 FRG-700 规为全量程规，在紧凑且经济的规管内集成两种测量技术，以测量从 5 x 10-9mbar 至大气压（3.8 x 10-9 Torr 至大气压）的工作压力和极限压力。带有一个对数模拟输出信号的单一紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性。其优点在于降低成本并显著降低对宝贵空间的要求。FRG-702 为 FRG-700 的全金属型号，内含金属密封的真空密封穿导件。该规管可以在比 FRG-700（法兰处 55℃）更高的温度（法兰处 150℃）下工作。
特性
- 两种测量技术集于一台紧凑、一体化、经济的封装中
- 测量过程和极限压力从 5 x 10-9 mbar 至大气压（3.8 x 10-9 Torr 至大气压）
- 一体化、紧凑的规管带有对数模拟输出，可大幅降低安装、设置和集成的复杂性
- 适合监控高真空压力、蒸镀和溅镀系统的极限压力，以及中高真空范围内的普通真空测量和控制
- 宽测量范围，从 5 × 10-9 mbar 至大气压
- 灯丝不易毁坏
- 优异的启动性能
- 易于清洁
性能指标
技术指标
| FRG-700/702 全量程复合规 | ||||||
| 测量范围 | 5 x 10-9 到 1000 mbar（3.8 x 10-9 到 760 Torr） | |||||
| 准确度 | ± 30 % 读数，典型值 | |||||
| 重复性 | ± 5% 读数，典型值 | |||||
| 安装方向 | 任意 | |||||
| 允许温度（周围环境） | 操作存储 | 烘烤温度* | （皮拉尼） | 灯丝温度 | ||
| 5 到 55 °C | –40 到 + 65 °C | 150°C | 120 °C | |||
| 电源电压 | 在规管处 | 脉动 | 能耗 | |||
| 15 到 30 VDC | ≤ 1 Vpp | ≤ 2 W | ||||
| 输出信号（测量信号） | 电压范围 | 测量范围 | ||||
| 0 到 10.5 V | 1.82 到 8.6 V | |||||
| 电压与压力关系 | 0.6 V/十进制, 对数的 | |||||
| 错误信号 | < 0.5 V（无输入），> 9.5 V（皮拉尼传感器，灯丝断裂） | |||||
| 最小负载阻抗 | 10 kΩ，短路保护 | |||||
| 响应时间 | < 10 ms（当压力大于 10-6 mbar 时），≈ 1000 ms（当压力等于 10-8 mbar 时） | |||||
| 识别规管 | 85 kΩ，参照常见供应 | |||||
| 状态 | 仅皮拉尼规模式 | 复合皮拉尼/冷阴极模式 | LED | |||
| 0 V（低） | 15 V到 30（高） | 绿色 LED 亮即表示高电压开 | ||||
| 电气连接 | FCC 68 应用连接器，8芯，内孔式配件 | |||||
| 传感器电缆 | 8 芯加屏蔽 | |||||
| 电缆长度 | ≤ 50 m | |||||
| 工作电压/电流 | ≤ 3.3 kV/≤ 500 A | |||||
| 暴露于真空中的材料 | SS，Al2O3，FPM75，Mo，Ni，Au，W | |||||
| 内部体积 | ≈ 20 cm3 | |||||
| 重量 | DN 25 ISO-KF ≈ 700 g，DN 40 CF ≈ 980 g | |||||
| 标准 | EN 61000-6-2，EN 61000-6-3，EN 61010-1 | |||||
外形图
