数字型气体质量流量控制器
技术参数
量程: 5sccm～300oslm(N2当量)
精度: ±1.0%F.S
量程比: 50:1(流量控制器）100:1(流量计）
重复精度: ±0.2%F.S
线性精度: ±0.5%F.S
环境温度: 5～45℃
温度系数: <±0.1%F.S/℃
压力系数: <±0.5%bar
泄漏率: <2*10-8atm.ml/S
耐压: 3MPa（流量小于30slm可选6MPa)
供电: 24vdc或±15vdc
模拟信号: 0～5vdc或4～20mA
数字信号: 液晶显示RS232RS、485(Modbus-RTU)
连接方式: 卡套式连接或VCR连接
(连接尺寸根据客户需求而定)
