数字型高温质量流量控制器
技术参数
量程: 5sccm～300slm(N2当量)
300g/h～20kg/h (H2O当量）
精度: ±1.0%F.S
量程比: 50:1（流量控制器）100:1（流量计）
重复精度: ±0.2%F.S
线性精度: ±0.5%F.S
环境温度: -10...70℃
介质温度: -10...100℃
温度系数: <±0.1%F.S/℃
压力系数: <±0.5%bar
泄漏率: <2*10-8atm.ml/S
耐压: 3MPa(可选6MPa)
供电: 24vdc或±15vdc
模拟信号: 0～5vdc或4～20mA
数字信号∶ 液晶显示RS232、 RS485(Modbus-RTU)
连接方式: 卡套式连接或VCR连接
（ 连接尺寸根据客户需求而定）
