世伟洛克隔膜密封阀系列

DP  系列无弹簧隔膜阀

■ 适合超高纯度应用

■316L VIM-VAR  不锈钢阀体

■低压和高压两种阀型

■VCR®、卡套管对焊和模块式表面安装端接

■手动或气动执行机构

DL  和 DS 系列隔膜阀

■  无填料, 全金属壳体

■ 压力从真空至 3500 psig (241 bar)

■  温度从 –73 至 121°C (–100  至 250°F)

LD  系列隔膜阀

■ 工作压力高达 300 psig (20.6 bar)

■ 开关、散装气体分配以及隔离服务

■ 铸造、锻造及棒材不锈钢阀体材料

■ 1/4  至 1 in.、12 至 25 mm  端接

DF  系列高流量, 无弹簧隔膜阀

■ 316L VAR  不锈钢阀体

■ 工作压力可达 300 psig (20.6 bar)

■ 1/4,  3/8  和 1/2 in. ；10 和 12 mm  端接

DRP 系列超高纯含氟聚合物隔膜阀

■气动和四分之一圈手动 2 通和 3 通型；带有流量可调和旁通功能的气动型和手动型

■改进型 PTFE  润湿部件和聚丙烯执行机构

■符合针对超高纯系统组件的 SEMI  标准 F57- 0 3 01

■细牙螺纹扩口和 Nippon Pillar® Super 300 端接标准; 可提供 Flowell, 空间节约型和其它端接

■可提供定制阀组和组件

ALD系列原子层沉积用隔膜阀

■ 高速执行下的超高循环寿命 

■ Cv 0.27  到  0.62

■ 耐热执行器、耐温高达 200°C（392°F）

■ 电子执行器位置传感选购件

■ 适合采用 316L VIM-VAR  不锈钢阀体的超高纯应用场合

■ VCR®、卡套管对焊和模块化表面安装端接

典型型号
零部件号：6LVV-ALD3TFR4-P-C

描述：316L VIM-VAR ALD 阀，1/4 in. 内螺纹 VCR, SC-01, NC 耐热执行器

规格摘要

机体材料316L VIM-VAR

连接1规格1/4 in.

连接1类型内螺纹 VCR® 金属垫片面密封接头

连接2规格1/4 in.

连接2类型内螺纹 VCR® 金属垫片面密封接头

清洁工艺超高纯工艺规范 (SC-01)