中科鼎新真空科技（济南）有限公司
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真空机组① 分子泵机组产品简介本设备适用于多种密闭性容器的抽真空排气作业，包括：LNG气瓶、LNG槽车、储罐等低温容器，半导体行业，实验室装备等
真空机组
① 分子泵机组
产品简介
本设备适用于多种密闭性容器的抽真空排气作业，包括：LNG气瓶、LNG槽车、储罐等低温容器，半导体行业，实验室装备等。
设备采用的分子泵为耐大气压启动分子泵，前级泵配置油逆止阀，实现泵无返油现象，在切断电源或突然断电后，防止返油和真空倒抽，进而避免了油蒸汽污染真空腔室的可能。设备配置的高真空挡板阀采用了焊接式波纹管密封，漏率值达到了5.0x10-12Pa，设备设计极限真空达到了1.0x10-6Pa。设备实现了结构紧凑、密封性能好、低能耗、性能
稳定、操作简便、方便移动等优点。
设备技术参数
1、自然风冷，无需水冷，方便移动；
2、使用电压：220V,380V；
3、设备总功率：1.3千瓦，2.8千瓦，3千瓦；
4、设计极限真空：1.0x10-6Pa；
5、设备重量：85公斤，120公斤，155公斤等；
6、抽气速率：300L/s,600L/s,1200L/s等；
7、其他：开机即可工作，无需预热等待；
8、进气接口一个或多个。
② 罗茨泵机组
技术参数
1、抽气速率：70—1200升/秒； 2、极限真空：5.0x10-2Pa；
2、设备功率：2.75—15千瓦； 4、使用电压：380V（三相四线）；
5、进气口通径：DN40—DN200； 6、冷却方式：风冷/水冷。
设备用途
1.蒸发镀膜、磁控溅射、卷绕镀膜、离子镀膜、光学镀膜等。
2.单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等。
3.真空干燥、冷冻干燥、检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入等。
4.冰箱、家用空调、空调、节能灯、背光源自动抽空线、排气设备等。
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