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中科鼎新真空科技(济南)有限公司


分子泵机组

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品       牌

厂商性质其他

所  在  地济南市

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更新时间:2024-12-25 03:28:32浏览次数:199次

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产品简介

本设备适用于多种密闭性容器的抽真空排气作业,包括:LNG气瓶、LNG槽车、储罐等低温容器,半导体行业,实验室装备等

详细介绍

本设备适用于多种密闭性容器的抽真空排气作业,包括:LNG气瓶、LNG槽车、储罐等

低温容器,半导体行业,实验室装备等。

    设备采用的分子泵为耐大气压启动分子泵,前级泵配置油逆止阀,实现泵无返油现象,

在切断电源或突然断电后,防止返油和真空倒抽,进而避免了油蒸汽污染真空腔室

的可能。设备配置的高真空挡板阀采用了焊接式波纹管密封,漏率值达到了5.0x10-12Pa,

设备设计极限真空达到了1.0x10-6Pa。设备实现了结构紧凑、密封性能好、低能耗、性能

稳定、操作简便、方便移动等优点。

设备技术参数

1、自然风冷,无需水冷,方便移动;

2、使用电压:220V,380V;

3、设备总功率:1.3千瓦,2.8千瓦,3千瓦;

4、设计极限真空:1.0x10-6Pa;

5、设备重量:85公斤,120公斤,155公斤等;

6、抽气速率:300L/s,600L/s,1200L/s等;

7、其他:开机即可工作,无需预热等待;

8、进气接口一个或多个。


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