中科鼎新真空科技(济南)有限公司
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本设备适用于多种密闭性容器的抽真空排气作业,包括:LNG气瓶、LNG槽车、储罐等低温容器,半导体行业,实验室装备等
本设备适用于多种密闭性容器的抽真空排气作业,包括:LNG气瓶、LNG槽车、储罐等
低温容器,半导体行业,实验室装备等。
设备采用的分子泵为耐大气压启动分子泵,前级泵配置油逆止阀,实现泵无返油现象,
在切断电源或突然断电后,防止返油和真空倒抽,进而避免了油蒸汽污染真空腔室
的可能。设备配置的高真空挡板阀采用了焊接式波纹管密封,漏率值达到了5.0x10-12Pa,
设备设计极限真空达到了1.0x10-6Pa。设备实现了结构紧凑、密封性能好、低能耗、性能
稳定、操作简便、方便移动等优点。
设备技术参数
1、自然风冷,无需水冷,方便移动;
2、使用电压:220V,380V;
3、设备总功率:1.3千瓦,2.8千瓦,3千瓦;
4、设计极限真空:1.0x10-6Pa;
5、设备重量:85公斤,120公斤,155公斤等;
6、抽气速率:300L/s,600L/s,1200L/s等;
7、其他:开机即可工作,无需预热等待;
8、进气接口一个或多个。
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