意塔尔真空科技（东莞）有限公司
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本机组由前级真空泵，罗茨泵，真空阀门，真空仪表，智能控制箱，真空罐和相应管道阀门等组成的成套机组。意塔尔Yitaervacuum 可量身定制个性化的真空系统及各类厂务系统和应用于工序集成系统
| 罗茨单级真空系统ETRW系列 | ||||||
| 型号 | 单位 | ETRW252-100 | ETRW502-200 | ETRW502-300 | ETRW1002-300 | ETRW2002-630 |
| 抽速 | m³/h | 252 | 540 | 540 | 1000 | 2000 |
| 前级泵 | m³/h | 100 | 200 | 300 | 300 | 630 |
| 极限压力 | mbar | 0.006 | 0.006 | 0.006 | 0.006 | 0.006 |
| 电机功率 | Kw | 1.1+3 | 2.2+5.5 | 2.2+7.5 | 4+7.5 | 7.5+18.5 |
| 进气口 | mm | 65 | 100 | 100 | 100 | 150 |
| 排气口 | mm | 42 | 60 | 60 | 60 | 80 |
| 尺寸（长*宽*高） | mm | 820*520*1125 | 1180*720*1180 | 1180*720*1180 | 1200*720*1490 | 1250*770*1500 |
| 罗茨单级真空系统ETRW系列 | ||||||
| 型号 | 单位 | 2ETRW200-1000 | 2ETRW300-2002 | ETRW750-2002 | ETRW1100-4402 | ETRW1600-4402 |
| 抽速 | m³/h | 1000 | 2000 | 2000 | 4402 | 4402 |
| 前级泵 | m³/h | 400 | 600 | 750 | 1100 | 1600 |
| 极限压力 | mbar | 0.006 | 0.006 | 0.006 | 0.006 | 0.006 |
| 电机功率 | Kw | 4+5.5*2 | 7.5+7.5*2 | 7.5+18.5 | 11+30 | 11+37 |
| 进气口 | mm | 100 | 150 | 150 | 250 | 250 |
| 排气口 | mm | 60 | 60 | 100 | 100 | 100 |
| 尺寸（长*宽*高） | mm | 1270*1250*1650 | 1460*1280*1870 | 1180*720*1180 | ||
| 罗茨双级真空系统ETRDC系列 | |||||
| 型号 | 单位 | ETRDC252-A | ETRDC502-A | ETRDC1002-A | ETRDC2002-A |
| ETRDC252-B | ETRDC502-B | ETRDC1002-B | ETRDC2002-B | ||
| ETRDC252-C | ETRDC502-C | ETRDC1002-C | ETRDC2002-C | ||
| ETRDC252-D | ETRDC502-D | ETRDC1002-D | |||
| 抽速 | m³/h | 252 | 540 | 1000 | 2000 |
| 前级泵 | A | ETR-D030C | ETR-D060C | ETR-D090C*2 | ETR-D175C*2 |
| B | ETR-D040C | ETR-D090C | ETR-D175C | ETR-D275C | |
| C | ETR-D060C | ETR-D175C | ETR-D275C | ETR-D275C*2 | |
| D | ETR-D090C | ETR-275C | ETR-D275C*2 | ||
| 极限压力 | mbar | 0.001 | 0.001 | 0.001 | 0.001 |
| 进气口 | mm | 65 | 100 | 150 | 150 |
| 尺寸（长*宽*高） | mm | 970*530*1160 | 1000*580*1360 | 1550*580*1360 | |
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