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TGA-321 NH3高精度痕量气体分析仪

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更新时间：2024-06-12 13:30:20浏览次数：90次

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浙江灵析光电技术有限公司

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产品简介

TGA-321 NH3高精度痕量气体分析仪 TGA-321 NH3高精度痕量气体分析仪是一款专为半导体行业空气分子污染分析（AMC）测量氨气（NH3）而设计的专业仪器，采用光腔衰荡光谱技术（CRDS），具有很高的灵敏度，其检测下限可达ppt 级别。不需要现场校准，非常适合连续测量。该分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氨气（NH3）分子在管道壁上的吸附，加快测量的响应速度并消除测量偏差。同时分析仪采用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。留言咨询

详细介绍

产品特点

TGA-321 NH₃高精度痕量气体分析仪采用的光腔衰荡光谱技术（CRDS）与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应时间短、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。
（1）ppt 级别的灵敏度、精度以及准确度
（2）免标定，低漂移
（3）响应时间短
（4）连续监测
（5）无耗材成本