除了高速、高精度、高刚性、低发热性和高可靠性，还实现了精密损耗精度
- 研磨主轴：20nm/SPAM
- 工作主轴：5nm/SPAM (*1)
(*1) 通过“单点异步误差运动"方法测量
高精度空气静力轴承主轴配有多孔限流器，可实现稳定化和精致的加工表面，多孔限流器大大减少了空气消耗，本公司根据惯例实现了 1/6 比率的空气消耗量，因此，有利于节能减排。
超低摩擦力导轨整合了本公司的原创高研磨技术和精选高精度轧辊，对纳米范围进给速率响应度高，消除了逆向进给的延迟。该导轨系统的刚性和稳定性高于静液压/空气静力轴承导轨，但精度能保持相似。
没有静态导轨常见的流体温度波动，确保了稳定的精度，同时无需使用液压装置之类的设备，即节省空间又节省能源。
在考虑性价比的前提下，针对每种机器类型和轴优化设计了滚珠螺杆驱动系统和线性马达驱动系统。
通过采用滚珠螺杆驱动系统，我们开发并利用的耦合器，解决了滚珠螺杆旋转所造成的常见应力和振荡问题。
| 型号 | ULC-
100D(S) |
| 直线行程
轴 | X 轴 (mm) | 300 |
| Y 轴 (mm) | 25 |
| Z 轴 (mm) | 150 |
| 编程
分辨率 (nm) | 1 |
|
进给速率
(mm/min)
| X、Z：500
Y： 300 |
| 工作主轴 | 旋转速度
(min-1) | 0-1500 |
| 真空吸盘
直径 (mm) | π100 |
| C 轴功能 | - |
| 研磨主轴速度 (min-1) | - |
| B 轴车削
工作台 | 进给速率
（度/分钟） | - |
| 编程
分辨率（度） | - |
| 轴结构，括号 () 中的轴是配件。 | X 轴，Y 轴，Z 轴 |
| 可选配件 | 喷雾冷却剂供应装置、
刀具架、
对称非球面表面加工软件和 PC、
集雾器等 |
| 型号 | ULG-
100E(HY) | ULG-
100D(HYS) | ULG-
100D(HYB) |
|---|
直线行程
轴 | X 轴 (mm) | 220 | 300 | 300 |
|---|
| Y 轴 (mm) | 20 | 25 | 25 |
|---|
| Z 轴 (mm) | 150 | 150 | 150 |
|---|
编程
分辨率 (nm) | 1 |
|---|
进给速率
(mm/min) | X、Z：500
Y： 300 |
|---|
| 工作主轴 | 旋转速度
(min-1) | 0-1500 |
|---|
真空吸盘
直径 (mm) | π100 |
|---|
| C 轴功能 | 配件 | 标配 |
|---|
| 研磨主轴速度 (min-1) | 5000-40000 | 10000-
60000 |
|---|
B 轴车削
工作台 | 进给速率
（度/分钟） | - | 0-1080 |
|---|
编程
分辨率（度） | - | 0.0001 |
|---|
| 轴结构，括号 () 中的轴是配件。 | X 轴，Y 轴，Z 轴 (C 轴) | X 轴、Y 轴、Z 轴、B 轴、C 轴 |
|---|
| 可选配件 | 冷却剂供应装置、喷雾冷却剂供应装置、刀具架、
对称非球面表面加工软件、
非对称非球面表面加工软件 (*1) 和 PC、
集雾器等 |
|---|
(*1) ULG-100A(HY) 和 ULG-100D(HYS) 不提供非对称非球面表面加工软件。
| 型号 | ULG-
100D(H3) | ULG-
100D(5A) |
|---|
直线行程
轴 | X 轴 (mm) | 300 | 450 |
|---|
| Y 轴 (mm) | 100 | 100 |
|---|
| Z 轴 (mm) | 150 | 150 |
|---|
编程
分辨率 (nm) | 1 |
|---|
进给速率
(mm/min) | X 轴，Y 轴，Z 轴： 500 |
|---|
| 工作主轴 | 旋转速度
(min-1) | 0-1500 |
|---|
真空吸盘
直径 (mm) | π100 |
|---|
| C 轴功能 | 标配 |
|---|
| 研磨主轴速度 (min-1) | 5000-
40000 | 10000-
60000 |
|---|
B 轴车削
工作台 | 进给速率
（度/分钟） | - |
|---|
编程
分辨率（度） | - |
|---|
| 轴结构，括号 () 中的轴是配件。 | X 轴、Y 轴、Z 轴、C 轴 | X 轴、Y 轴、Z 轴、B 轴、C 轴 |
|---|
| 可选配件 | 冷却剂供应装置、喷雾冷却剂供应装置、刀具架、
对称非球面表面加工软件、
非对称非球面表面加工软件和 PC、
集雾器等 |
|---|
