质朋仪器贸易（上海）有限公司
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NanoFocus半导体探针卡检测设备产品参数
| 分辨率 | X & Y轴: 0.5-5.1um; |
|---|---|
| Z轴：0.016 um; | |
| 取样率 | 8000 Hz |
| 工作距离 | 8 mm |
| 扫描宽度 | 630 um |
| 高度范围 | 300 um – 400 um |
| 机台尺寸 | 300mm x 300mm（可定制） |
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