质朋仪器贸易(上海)有限公司
NanoFocus半导体晶圆检测设备(人工装载)产品参数
分辨率 | X & Y轴: 0.5-2.5um; |
---|---|
Z轴:0.016 um; | |
取样率 | 20000 Hz |
工作距离 | 8 mm |
扫描宽度 | 630 um |
高度范围 | 300 um – 400 um |
机台尺寸 | 400mm x 400mm(可定制) |
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