江苏创生源智能装备股份有限公司
江苏创生源智能装备股份有限公司
暂无信息 |
创生源自动化依托本公司雄厚的技术力量,自主研制了AWLB-PE6500系列全自动石墨框上下料一体机,刻蚀制程后花篮中硅片自动上料至石墨框，背钝化板式PECVD镀膜制程完成后石墨框下料至花篮或堆栈片盒
创生源自动化依托本公司雄厚的技术力量, 自主研制了AWLB-PE6500系列全自动石墨框上下料一体机, 刻蚀制程后花篮中硅片自动上料至石墨框，背钝化板式PECVD镀膜制程完成后石墨框下料至花篮或堆栈片盒。整个上下料过程全自动控制，避免因人工装片/卸片对硅片表面产生的污染且有效降低碎片率,有助于产能与良率比。
设备名称: 在线PERC全自动石墨框上下料一体机
设备型号：AWLB-PE6500
设备用途：AWLB-PE6500全自动石墨框上下料一体机集上料与下料为一体,可从石墨框中把镀膜后的硅片下料至花篮或堆栈片盒中,亦可从花篮中将刻蚀后的硅片上料至石墨框中。采用上料与下料可连续衔接方式，实现连续生产；也可单独装片或单独卸片。
技术特点：
---- 可应用于在线常规板式PECVD或背钝化板式PECVD石墨框上下料.
---- 可应用于156.75*156.75、160.75*160.75、162*162、166*166硅片.
---- 可应用于50片、100片等不同规格的花篮.
---- 可应用于4*6、5*6、6*6不同规格的石墨框.
---- 双通道花篮上料，提高上料生产效率。
---- 双通道花篮下料、叠片下料。
---- 两侧上下料通道之间花篮载板可自动回流.
---- 背钝化板式PECVD与装卸片机之间石墨舟自动回流.
---- 采用总线控制,装卸片过程全自动；触摸屏菜单操作,简洁明了.
---- 具有完善的检测报警系统，保证装卸片自动运行稳定，操作放心。
---- 可选支持MES接口和远程诊断功能.
---- 可选在线隐裂片检测、在线膜厚检测、在线色差检测及不良片剔除功能。
----可选匹配智能工厂AGV接驳口.
---- 产能：Max.6500Pcs/h
您感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
农机网 设计制作，未经允许翻录必究 .
请输入账号
请输入密码
请输验证码
