光学玻璃基涡旋波片超声波清洗机VGT-1409FH
疑问?光学玻璃基旋涡波片主要清洗的目标是什么:
光学玻璃基涡旋波片在制造和封装过程中可能残留以下污染物,超声波清洗可高效去除:
1、抛光残留物(如氧化铈、二氧化硅颗粒)。
2、有机污染物(指纹、油脂、灰尘)。
3、金属离子或无机盐(来自加工环境或化学处理)。
4、临时保护膜或光刻胶残留(如用于微结构制作的抗蚀剂)。
威固特VGT-1409FH超声波清洗机所具备的清洗优势等技术功能如下:
相比传统清洗方法(如手动擦拭、喷淋清洗),威固特VGT-1409FH超声波清洗机在光学玻璃基涡旋波片生产中具有以下优势:
优势 | 说明 |
高效去污 | 超声波空化效应可深入微米级结构,清除顽固颗粒和有机残留。 |
均匀清洗 | 避免人工擦拭造成的局部划伤或污染不均匀问题。 |
批量处理 | 可同时清洗多片波片,提高生产效率。 |
减少化学溶剂用量 | 超声波增强清洗液活性,降低对强酸/碱溶剂的依赖 |
可控性强 | 通过调整频率、功率时间优化清洗效果,适配不同污染性。 |
威固特VGT-1409FH超声波清洗机推荐技术参数(为确保清洗效果并避免损伤):
参数 | 推荐范围 | 注意事项 |
频率 | 25-40KHZ | 低频(25KHZ)适合去大颗粒,高频(40KHZ)适合精细清洗,但需避免过高频率导致微结构共振。 |
功率密度 | 30-50W/L | 功率过高可能损伤镀膜或导致玻璃表面微裂纹。 |
清洗时间 | 1-3分钟 | 过长时间可能引发材料疲劳(尤其对镀膜波片)。 |
清洗液 | 去离子水 + 中性表面活性剂(如5%异丙醇) | 避免强酸/碱溶液腐蚀镀膜或玻璃。 |
温度 | 20-40℃ | 适当升温可提升清洗效率,但超过50℃可能影响某些光学胶或镀层稳定性。 |
威固特VGT-1409FH超声波清洗机分步清洗流程:
步骤1:预清洗(可选)
目的:去除大颗粒松散污染物,减少超声波负载。
方法:
用氮气吹扫波片表面。
浸泡于去离子水中,手动摇晃10秒。
步骤2:超声波主清洗
参数:
清洗液:按污染类型选择。
功率:8W/L(如10L槽体=80W)。
时间:2分钟。
操作:
将波片装入支架,完浸没于清洗液(液面高出波片≥2cm)。
启动超声波,观察清洗液流动是否均匀(避免死角)。
步骤3:漂洗
目的:去除清洗液残留。
方法:
一级漂洗:超纯水(电阻率≥18.2 MΩ·cm)中浸泡1分钟,轻微摇晃。
二级漂洗:流动超纯水冲洗30秒(流速1L/min)。
步骤4:干燥
氮气吹干:
使用0.1μm过滤的氮气,压力≤0.2MPa。
从波片中心向外螺旋式吹扫,角度45°(避免液滴残留)。