SEMI T（带脉动阻尼器） |
SEMI H |
SEMI E |
SEMI S |
*SEMI系列泵是专门为半导体行业开发的隔膜泵系列，这个系列隔膜泵的组装均是在100级洁净室内完成。
*SEMI系列泵的每一个部件在组装时都经过双重清洁并经过去离子水的测试，最终密封在塑料壳内。
*SEMI T和SEMI H泵接触液体的部分由PTFE/TMF制成，SEMI E泵接触液体的部分由超纯聚乙烯制成。
*SEMI 系列泵在选择时必须严格根据液体类型来选择合适的泵。
*SEMI E泵在使用时必须严格控制操作压力（6bar）和液体温度（70℃）。
*SEMI T、SEMI H和SEMI S泵工作温度和驱动的压力限制不同，具体要求如下表所示：
| 驱动空气压力 | 6BAR | 5BAR | 4BAR | 3BAR | 2BAR |
| 允许温度-SEMI T | 100℃ | 110℃ | 120℃ | 130℃ | 130℃ |
| 允许温度-SEMI H | 100℃ | 130℃ | 150℃ | 180℃ | 200℃ |
| 允许温度-SEMI E | 70℃ | 70℃ | 70℃ | 70℃ | 70℃ |
| 允许温度-SEMI S | 130℃ | 130℃ | 130℃ | 130℃ | 130℃ |
注：
SEMI T 材质TFM/PTFE、UPPE 尺寸10、20、50、100 输送酸性液体、腐蚀液体
SEMI H 材质TFM/PTFE、PTFE 尺寸10、20 输送热酸性和腐蚀性液体
SEMI E 材质UPPE 尺寸10、20、50、100 输送泥浆
SEMI S 材质SS 316L 尺寸20、50 输送化学溶剂
| SEMI系列外形尺寸说明 | |||||||||||||
| mm | A | B | C | D | E | F | G | H | I | K | L | M | N |
| SEMI 10 | 184 | 112 | 72 | 28 | 10.5 | 95 | 145 | 114 | 57 | 133 | 68 | 79.5 | 37 |
| SEMI 20 | 207 | 109 | 98 | 35 | 10.5 | 109 | 163 | 154 | 75 | 172 | 91 | 115 | 32 |
| SEMI 50 | 255 | 157 | 98 | 46 | 19 | 113 | 195 | 207 | 104 | 215 | 110 | 165 | 33 |
| SEMI 100 | 315 | 196 | 119 | 57 | 19 | 138 | 238 | 269 | 135 | 267 | 138 | 225 | 39 |
| mm | O | Q | R | S | T | U | V | W | X |
| SEMI 10 | 105 | 155 | 155 | 36 | 110 | 245 | 3/8" NPT | 1/4" NPT | 3/8" |
| SEMI 20 | 139 | 200 | 163 | 46 | 110 | 287 | 1/2" NPT | 1/4" NPT | 1/2" |
| SEMI 50 | 177 | 258 | 224 | 59 | 150 | 346 | 1" NPT | 1/4" NPT | 1" |
| SEMI 100 | 223 | 322 | 298 | 80 | 213 | 428 | 1 1/4" NPT | 1/4" NPT | 1 1/4" |
SEMI系列泵性能曲线
