低脉动气动风囊泵
● 低脉动
的系统驱动机制,确保气囊运动效果,将脉动减到。
● 减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能下,减少高达30%的压缩空气消耗量。
● 高持续压力
的气囊运动,有效提高压力的承受能力,以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力,尤其在单晶圆处理过程中。
● 无需阻尼器
泵的运作无需使用阻尼器,节省设备空间及安装费用,例如氟塑料接管等。整体设备的重量/尺寸得以最小化。
● 低脉动
的系统驱动机制,确保气囊运动效果,将脉动减到。
● 减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能下,减少高达30%的压缩空气消耗量。
● 高持续压力
的气囊运动,有效提高压力的承受能力,以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力,尤其在单晶圆处理过程中。
● 无需阻尼器
泵的运作无需使用阻尼器,节省设备空间及安装费用,例如氟塑料接管等。整体设备的重量/尺寸得以最小化。
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