EM-AFM可在SEM中同时提供原子力显微镜成像和纳米机械测量。它综合了这两种技术的优点，可高速获得高分辨率的三维图像，并且在微纳米和亚纳米尺度上实时观察纳米级力的相互作用，与常规SEM/FIB兼容，并与EDS, EBSD, WSD兼容。
主要功能
EM-AFM可在SEM中同时提供原子力显微镜成像和纳米机械测量。它综合了这两种技术的优点，可进行形貌扫描、3D成像、纳米压痕/纳米拉伸测试等。
l 技术特点
同时获得AFM和SEM成像
与主流扫描电镜兼容
样品更换简单
超高分辨率形貌扫描
用纳米压痕法测量纳米力
操作稳定性高，不受SEM电子束干扰
真空载锁兼容
技术能力
三、应用
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