概述
nXDS6i 是下一代无油的干式涡旋泵，并取代 XDS5。与传统 XDS 泵相比，nXDS 性能更强，抽速更高，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 还采用了新的端部密封，延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 泵可进行现场维修。
用途
- 一般清洁泵送应用
- 电子扫描显微镜 - SEM
- 射束线和高能物理
- 前级涡轮泵
- 速离心机
- 覆层
- 低温学
- 脱气/硫化 - 油，环氧树脂
- 蒸馏/萃取/过滤
- 冷冻干燥
- 熔炉
- 凝胶体干燥
- 实验室工作台上真空
- 激光、气体回收和再循环
- 氦检漏仪
- 负载锁和传输腔
- 稀有气体再循环
- 稀有气体回收
- 冷冻制造
- 旋转离心蒸发器
- SEM/FIB（离子束维修）
- 溶剂回收
- 表面科学仪器
特性与优势
- 真空外壳中不需要使用润滑剂，密封可的清洁和干燥真空，防止交叉污染
- 无大气压到真空的轴封可使轴承隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长
- 简单的单侧滚轴布置电机和轴承设计相结合，只需低程度的工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本，尽可能延长正常运行时间
- 改进了电机和传动效率，可降低功耗和运行成本
- 的接口提供了传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现远程控制/监视
数据
| 额定转速 | 1800 rpm |
| 排量 | 6.2 m3h-1 / 3.6 ft3min-1 |
| 峰值抽速 | 6.2 m3h-1 / 3.6 ft3min-1 |
| 极限真空（总压力） | 0.020 mbar / 0.015 Torr |
| 待机旋转速度 | 1200 rpm |
| 速度控制精度（以全速百分比表示） | 1% |
| 转速时的抽速 | 4.1 |
| 大连续入口压力 | 200 mbar |
| 电机功率（一相） | 260 W |
| 电源连接器 1 相 | IEC EN60320 C13 |
| 的保险丝 | 10A，250Vac rms |
| 重量 | 26.2 kg / 58 lb |
| 入口法兰 | NW25 |
| 排气口法兰 | NW25 |
| 噪声级别 | 52 dB(A) |
| 入口法兰处的震动 | < 4.5 mms-1 (rms) |
| 密封性（静态） | < 1x10-6 mbar ls-1 |
| 操作温度范围 | 10 至 40 °C / 41 至 104 °F |
