54 系列全金属 UHV 阀门
安捷伦科技很高兴为您提供与 VAT 合作生产的 54 系列全金属超高真空阀门。这些阀门专为超高真空系统设计，烘烤温度可高达 300 ºC，并且不使用弹性体及低熔融温度金属。阀门可使用标准的六角扳手进行手动操作，不必使用扭矩扳手。由于采用金属密封，这些阀门可以在维护之前，开关上千次。54 系列阀门几乎无需维护，可靠性高，可满足从大气压到低于 10 - 11 torr (mbar) 的真空密封。
特性
- 专为超高真空 (UHV) 设计的全金属阀门
- 压力范围从真空 (XHV) 到高达 2 bar
- 在打开和关闭位置可烘烤温度达 300 ℃
- 的 VATRING 密封能提供“金属”接触式密封，维护前可开关 1000 多次。
- 可以以任意角度安装
- 可视的位置指示
性能指标
| 漏率：阀体，阀座 | < 1 x 10-10 mbar Is-1 |
| 压力范围 | 从真空 (XHV) 到 2 bar (abs) |
| 插板处的压力差 | ≤ 2 bar |
| 开启时压差 | ≤ 1 bar 1 |
| 寿命 | ≥ 1000 次 |
| 烘烤温度 2 | ≤ 300 °C（开启和关闭时） |
| 加热和冷却速度 | = 60 °C h-1 |
| 材料：阀体，机械装置，波纹管 | AISI 316L (1.4404, 1.4435) |
| 密封：阀盖，插板 | 金属 |
| 穿导件 | 波纹管 |
| 安装方向 | 任意 |
| 阀位指示 | 可视（机械） |
| 流导（分子流） | NW 16：5 Ls-1/NW 40：50 Ls-1 |
| 闭合力 | 处于机械停止状态时关闭 |
| 重量：kg（磅） | NW 16： 0.4 (0.9) |
| NW 40：1.9 (4.2) | |
| 1) 随着循环次数减少 >1 bar | |
| 2) 值：取决于工作条件和密封材料 | |
