563 B-A 型规管
安捷伦 563 B-A 型热阴极电离规管采用加热灯丝作为电子源。该规管在 2 x 10-10 至 1 x 10-3 torr 的压力范围内具有的性能。玻璃壳体内部使用铂涂层,可以在较低压力下为真空规提供静电屏蔽,同时又可释放高压下可能积聚的静电。此外,还提供在低于 5 x 10-6 torr 真空下的校准规,用于测试真空规控制器。
特性
- 563 规管拥有多种接口类型可供选择。
性能指标
技术指标
灵敏度 |
10 (Torr)-1 (mbar)-1(通常情况下) |
通过 Agilent STARRS 程序可选择精确测量。 |
请联系安捷伦获取详细信息 |
工作值 |
• 0 VDC(收集级) |
• + 180 VDC 接地(栅极) |
• + 30 VDC 接地 |
• 5 VAC 额定电压(灯丝) |
X 射线极限值 |
2 x 10-10 Torr, (2.6 x 10-10 mbar) |
工作压力 |
2 x 10-10 Torr 到 1 x 10-3 Torr? |
(2.7 x 10-10 mbar 到 1 x 10-3 mbar) |
外形图