COBRA Semicon 干式螺杆真空泵是光伏电池、平板显示器、半导体生产等高要求工艺以及众多工业镀膜应用的理想之选。
COBRA Semicon 的工作原理基于我们的螺杆技术。得益于荣获的自平衡螺杆,它们在效率方面树立了全新标准。
COBRA Semicon 兼具大气量与高蒸汽和颗粒耐受力。因此,它们可以顺利抽取含颗粒的介质。
无油和非接触式运行的工作原理可确保低维护需求、低运行成本及长使用寿命。
COBRA Semicon 尺寸紧凑,即使在狭小空间中也易于安装。
工作原理
在 COBRA Semicon 干式螺杆真空泵中,两个螺杆转子沿着相反方向旋转。泵送的介质被吸入泵腔和螺杆之间, 经压缩后输送至排气口。在此过程中,螺杆转子不会相互接触,也不与泵腔接触。