1、印染废水和造纸废水处理
具氧较弱的氧化性使其能与发色基团发生反应，将有机物的化学键断开，由大分子转化为无色的小分子，因此臭氧在脱除染料废水，印染废水、造纸废水的色度方面具有很好的处理效果采用臭氧处理印染废水，结果发现臭氧对含有GBC枣红基染料的印染废水的色度和CODcr去除率分别达94%和72%，出水pH值超于中性。
2、炼油废水处理
炼油厂废水中的污物多为石油裂解产物和烧经类的衍生产物。此类物质可生化能力极弱，针对此特点，这类废水的常规处理法多为“隔油+气浮”。目前国内已有学者采用臭氧深度处理该废水，以实现废水的循环使用。
3、焦化废水处理
焦化废水是在煤的焦化、石油及天然气的裂解过程中产生的，随着工业的发展，此类废水的排放量日渐增加。焦化废水中多乐芳烃类物质，氨氮、吡啶、氯化物、煤焦油等，污染物多为硅生物降解有机物和毒性物质。有实验研究表明，臭氧技术处理焦化废水能明显提高出水水质。
通过实验发现，对于COD值小于1000mg/L、酚含量小于500mg/L的焦化废水，经臭氧技术处理后水质明显得到改善，COD去除率高达80%，酚的去除率在30%以上，硫氰氯化物的方除基接近99%，氨氮的去除率在35%左右
