使用HEPA过滤器供应清洁空气
带有内置HEPA过滤器的风扇/过滤器单元可提供清洁空气。
出色的过滤器维护
一键式快速顶部维护系统（01FFU-05FFU）
无需工具即可轻松更换
一键式锁定，可轻松更换HEPA过滤器。无需工具即可卸下和更换HEPA过滤器。
侧吸式（11FFU〜17FFU）
最小化与天花板的距离
通过从风扇/过滤器单元的侧面吸入外部空气，可以最小化与天花板的距离。当洁净室的天花板较低或洁净室的高度和尺寸较大时，此方法有效。
底部维护方法（05FFU-DM，A11FFU至A17FFU）
避免在高处进行维护
HEPA过滤器可从展位内部更换。可以避免在高处进行维护。
轻松营造清洁环境
可以结合精密空调来控制温度和湿度。
通过将精密空调与风扇/过滤器单元结合使用，可以轻松构建清洁的环境。通过使PAU单元产生的精密空气通过HEPA过滤器，它成为具有高度清洁度的清洁空气，并且可以在本地供应清洁空气。此外，可以根据目标空间的体积和所需的清洁度自由选择清洁单元，因此可以轻松地执行“温度/湿度控制”和“清洁环境构建”。
规格
| 处理风量(m3/min)(注) | 17以上 |
| 吸尘效率 | 0.3μm粒子99.97%以上 |
| HEPA过滤器尺寸(H×W×D)(mm) | H68×W610×D610 |
| 风扇马达使用数 | 1个 |
| 构造 | 本体：钢板制涂装加工 |
| 外形尺寸(mm) | H320×W700×D700 |
| 定格电压（V） | 三相AC200 |
| 消耗功率(W) | 240/250(50/60Hz) |
| 警报输出 | a接点无电压（AC100～240V电阻负荷1A）出货时设定值0.2m/s |
外形尺寸图
