农机网>产品库>排灌机械>水泵>泵>>涡轮分子泵应用于激光分子束外延 Lazer MBE

涡轮分子泵应用于激光分子束外延 Lazer MBE

参考价	面议

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

公司名称伯东企业（上海）有限公司深圳办事处
品牌
型号
所在地
厂商性质其他
更新时间2024/5/6 19:04:39
访问次数50

产品标签:

在线询价收藏产品点击查看联系电话

索取相关资料

公司介绍主营产品

伯东公司成立于1953 年，范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司()主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。上海伯东作为国际真空品牌代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，99% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

展开显示更多内容

冲击试验箱,交变试验箱,水浴,油浴

产品简介在线询价

涡轮分子泵应用于激光分子束外延 Lazer MBE 产品信息

Pfeiffer 涡轮分子泵应用于激光分子束外延系统 Lazer MBE
激光分子束外延 Lazer MBE 是一种晶体生长技术, 将半导体衬底放置在超高真空腔体中, 和将需要生长的单晶物质按元素的不同分别放在喷射炉中, 由分别加热到相应温度的各元素喷射出的分子流能在衬底上生长出极薄的. 可薄至单原子层水平, 单晶体和几种物质交替的超晶格结构. 分子束外延主要研究的是不同结构或不同材料的晶体和超晶格的生长, 该方法生长温度低, 能严格控制外延层的层厚组分和掺杂浓度.

分子束外延系统需要高真空环境!
外延系统中的超高真空腔体对真空度要求及其高, 对真空腔体的密封性, 材料放气率, 微量杂质气体和水蒸气比较敏感,德国 Pfeiffer 分子泵可提供稳定的真空环境, 对晶格的生长起到良好的作用

上海伯东激光分子束外延 Lazer MBE 客户案例一: 某真空设备商采购 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 400, HiPace 80 用于激光分子束外延系统, 系统功能
1. 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长
2. 超高真空生长室, 直径 12英寸.
3. 额定基压：<1x10-6 Torr
4. 配有12个加热泄流源.
5. 衬底加热器加热温度 950℃
6. 可放置 6个1"的靶及 3个2"的靶
7. 质量流量计控制进入真空腔的流量, 量程 100sccm.
8. 线型进样室实现全自动送片
涡轮分子泵应用于激光分子束外延 Lazer MBE
分子束外延超高真空系统配置

	涡轮分子泵 HiPace 400 接口: DN 100 CF-F 极限真空: < 5X10-10 mbar 氮气压缩比: > 1X1011 抽速: 355 l/s
	涡轮分子泵 HiPace 80 接口: DN 63 CF-F 极限真空: < 5X10-10 mbar 氮气压缩比: > 1X1011 抽速: 67 l/s
	隔膜泵 MVP 020 口径: DN 8+G1/8” 极限真空: 3 mbar 抽速: 1.2 m³/h

Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速 90,000 rpm, 极限真空 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 更多分子泵典型应用 >>

鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶女士中国台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
ec ec.tw
上海伯东版权所有, 翻拷必究！