涡轮分子泵扫描电镜 SEM 抽真空
上海伯东德国 Pfeiffer Hipace Plus 系列涡轮分子泵广泛集成在扫描电子显微镜 SEM 设备中.
扫描电子显微镜 SEM, 简称扫描电镜原理是利用电子束扫描物体表面实现成像. 空气的存在会使的电子束变型, 影响扫描效果,因此要抽真空, 高效的涡轮分子泵有利于保持样品室的清洁度; 电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效, 所以除了在使用 SEM 时需要在真空环境下, 平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空室.
HiPace Plus 系列涡轮分子泵是为扫描电子显微镜 ( 扫描电镜 SEM ) 和质谱行业量身定做的产品, 分子泵低振动和低磁场设计, 广泛集成在泰思肯 TESCAN, 蔡司 ZEISS , 日立 Hitachi, 日本电子 Jeol 等分析仪器设备里.
Pfeiffer Hipace Plus 涡轮分子泵目前在售型号 Hipace 300 Plus 和 Hipace 700 Plus,
以 Hipace 300 举例,主要技术参数如下:
| 型号 | 涡轮分子泵 HiPace 300 | 涡轮分子泵 HiPace 300 Plus | |||||
| 允许环境磁场 | ≤ 5.5 mT | ≤ 5.5 mT | ≤ 5.5 mT | ≤ 3 mT | ≤ 3 mT | ≤ 3 mT | |
| 允许磁场 | 5.5 mT | 5.5 mT | 5.5 mT | 5.5 mT | 5.5 mT | 5.5 mT | |
| 噪音 | ≤50 dB(A) | ≤50 dB(A) | ≤50 dB(A) | ≤50 dB(A) | ≤50 dB(A) | ≤50 dB(A) | |
| 安装方式 | 任意位置安装 | 垂直,法兰向上 | |||||
| 进气口 | DN 100 ISO-K | DN 100 CF-F | DN 100 ISO-F | DN 100 ISO-K | DN 100 ISO-K | DN 100 ISO-K | |
| 极限真空度 | <1X10-7 hPa | < 5X10-10 hPa | < 1X10-7 hPa | <1X10-7 hPa | < 5X10-10 hPa | < 1X10-7 hPa | |
| Ar 抽速 | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | |
| H2 抽速 | 220 l/s | 220 l/s | 220 l/s | 220 l/s | 220 l/s | 220 l/s | |
| He 抽速 | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | |
| N2 抽速 | 260 l/s | 260 l/s | 260 l/s | 260 l/s | 260 l/s | 260 l/s | |
| Ar 压缩比 | > 1X1011 | ||||||
| H2 压缩比 | 9X105 | ||||||
| He 压缩比 | > 1X108 | ||||||
| N2 压缩比 | > 1X1011 | ||||||
| 分子泵全速时 Ar 气体流量 | 7 hPa l/s | 7 hPa l/s | 7 hPa l/s | 2 hPa l/s | 2 hPa l/s | 2 hPa l/s | |
| 分子泵全速时 He 气体流量 | 10 hPa l/s | 10 hPa l/s | 10 hPa l/s | 8 hPa l/s | 8 hPa l/s | 8 hPa l/s | |
| 分子泵全速时 H2 气体流量 | > 14 hPa l/s | > 14 hPa l/s | > 14 hPa l/s | > 14 hPa l/s | > 14 hPa l/s | > 14 hPa l/s | |
| 分子泵全速时 N2 气体流量 | 14 hPa l/s | 14 hPa l/s | 14 hPa l/s | 5 hPa l/s | 5 hPa l/s | 5 hPa l/s | |
| Ar 前级真空 | 25 hPa | 25 hPa | 25 hPa | 15 hPa | 15 hPa | 15 hPa | |
| H2 前级真空 | 8,5 hPa | 8,5 hPa | 8,5 hPa | 8,5 hPa | 8,5 hPa | 8,5 hPa | |
| He 前级真空 | 20 hPa | 20 hPa | 20 hPa | 15 hPa | 15 hPa | 15 hPa | |
| N2 前级真空 | 20 hPa | 20 hPa | 20 hPa | 15 hPa | 15 hPa | 15 hPa | |
Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速 90,000 rpm, 极限真空 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 更多分子泵典型应用 >>
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