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　　机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。
　　
　　应用
　　
　　半导体制程
　　
　　真空蒸馏
　　
　　真空包装
　　
　　钢脱气
　　
　　薄膜覆层
　　
　　真空冶金
　　
　　低密度风洞
　　
　　空间模拟
　　
　　真空浸渍
　　
　　油干燥和脱气
　　
　　制药冷冻干燥
　　
　　CO2激光
　　
　　功能和优势
　　
　　适用于在0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr的压力范围下、需要超过3000m3h-1/1776ft3min-1的高抽速的应用场合。
　　
　　它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
　　
　　EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：
　　
　　安静的无振动运行。
　　
　　牢靠且防腐蚀。
　　
　　*的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
　　
　　防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
　　
　　经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到zui低。
　　
　　轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要zui高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
　　
　　动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是*技术设备的制造商所需要的。
　　
　　技术数据
　　
　　型号EH250EH500EH1200EH2600EH4200
　　
　　排量（工作容积）310m3h-1/185ft3min-1505m3h-1/300ft3min-11195m3h-1/715ft3min-12590m3h-1/1525ft3min-14140m3h-1/2440ft3min-1
　　
　　使用前级泵时的有效抽速240m3h-1/141ft3min-1350m3h-1/206ft3min-1840m3h-1/495ft3min-11750m3h-1/1031ft3min-13100m3h-1/1825ft3min-1
　　
　　泵的压力差0-180mbar/0-140Torr0-110mbar/0-83Torr0-90mbar/0-68Torr0-80mbar/0-60Torr0-60mbar/0-45Torr
　　
　　进气口连接ISO63ISO100ISO160ISO160ISO250
　　
　　出口连接ISO40ISO63ISO100ISO100ISO100
　　
　　转速0-2900rpm0-2900rpm0-2900rpm0-2900rpm0-2900rpm
　　
　　连续进气口工作压力0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr
　　
　　zui大出口压力1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr
　　
　　推荐的前级泵GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80GV80，E2M80GV160、GV250、
　　
　　E2M80、E2M175GV250、GV400、
　　
　　E2M175、E2M275GV400、E2M275
　　
　　电机功率
　　
　　碳氢化合物2.2kW/3hp2.2kW/3hp3kW/4hp11kW/15hp11kW/15hp
　　
　　PFPE1.5kW/2hp1.5kW/2hp3kW/4hp7.5kW/10hp11kW/15hp
　　
　　ATEX2.2kW2.2kW3kW11kW11kW
　　
　　防爆3hp3hp4hp15hp15hp
　　
　　环境温度范围
　　
　　工作5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F
　　
　　存储-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F
　　
　　zui大工作湿度90%RH90%RH90%RH90%RH90%RH
　　
　　推荐用油Ultragrade20Ultragrade20Ultragrade20Ultragrade20Ultragrade20
　　
　　油容量
　　
　　齿轮箱1.25l/1.3qt3.5l/3.3qt3.5l/3.3qt
　　
　　联轴器盖1.5l/1.6qt1.5l/1.6qt1.5l/1.6qt6.5l/7qt6.5l/7qt
　　
　　轴封储油器0.125l/0.25qt0.125l/0.25qt0.125l/0.25qt1.5l/1.4qt1.5l/1.4qt
　　
　　重量61kg/134lb74kg/163lb74kg/163lb308kg/679lb