电子洁净厂房 净化工程 无尘车间 电子厂房

复合式(Mixed Type)：

　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。 　　

      (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域*覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。 　　洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。 　　

     (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为zui适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 　　

     (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。