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当前位置:南京芯测软件技术有限公司>> GP200SiPH销售硅光探针台公司
型号:GP200-SiPH
8英寸硅光测试手动探针台
硅光探针台应用:GP200-SIP系列8英寸探针台包含硅光芯片的DC&RF&OO测试所需的完整配置,在短时间内可准确地完成芯片的参数测试与提取。
XY行程 | 快速定位行程:210mm×210mm; 精调行程: 210mm×210mm , 精调分辨率:≤ 1.0 μm;驱动方式:手动 |
Z轴行程 | 10mm;驱动方式:手动 |
Theta旋转 | 快速旋转角度:360°;精调角度:±15°,精调分辨率:<0.02°;驱动方式:手动 |
Chuck台 | 尺寸:203mm(8inch) ;真空盘可调节高度:±5mm 真空快速切换开关,真空调节档位:Center、2’、4’、8’ 安装方式:真空盘与主体绝缘 |
台面精度 | 平面度:<10 μm |
快速拉出结构 | 行程:100mm |
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