SPA系列可以提供精确的、非接触、无损膜厚度测量，适用于薄膜厚度在2-100µm的聚合物材料、硅基氧化膜、硅基玻璃膜，在干涉条纹产生的基础上通过改变角度产生干涉条纹（VAMFO-变角度单色条纹观测）的方法。对于厚膜折射率的测量，单色光被直接照射到被测样品上，这样，从薄膜表面反射回来的光的干涉最小值就会发生变化，光的入射角也会发生变化。在这种技术中，薄膜厚度是由两个干涉最小值的角的位置计算出来的。对于这种测量条件——薄膜具有两个或两个以上的干扰最小值——薄膜厚度必须大于脱粒率，通常为2微米。样品夹持机采用真空从背面支撑样品，安装方便简单。可测量薄膜/基底的类型，硅衬底上几乎任何透明或半透明材料的氧化物、氮化物、介质、聚合物或薄膜。可测量的薄膜/衬底类型：氧化物、氮化物、介电材料、聚合物、或硅衬底上几乎任何透明或半透明材料的薄膜。
采用带温控台的SPA-4000双棱镜对材料薄膜的光热学系数进行了测量，材料的光热系数被定义为折射率随温度变化的函数，可以被用作光学数字开关，Mach-Zehnder间距式和交叉式光学开关，这些光器件通过改变温度来控制光路，在网络通信中起着关键作用。该材料中泛引用的光学效应理论Prod’homme理论
产品特性：
1. 薄膜及波导折射率/厚度/光损测量
2. 折射率和薄膜厚度的高分辨率测量
3. 高精度测量散装或基材材料
4. 双层薄膜测量（甚至在波长1310 nm或1550 nm处有几个~㎛厚度）
5. 不相关的薄膜/基板组合
6. 无需预先知识，操作简单。
7. 批量或基板材料的高精度测量
8. 各向异性/双折射测量（TE和TM能力）
9. 快速表征
10. 可用于波长范围内的许多激光器（632.8nm~1550nm）
技术指标：
测量指标 | 范围 |
折射率 | 折射率测量范围 | 1.0 to 2.45 |
折射率精度 | 0.001 |
折射率分辨率 | ±0.0005 |
厚度 | 厚度测量范围 | 0.4㎛-20㎛ |
厚度精确度 | ±0.5% |
厚度分辨率 | ±0.01㎛ |
体材料 | 折射率精度 | 0.0005 |
(仅测折射率) | 折射率分辨率 | ±0.0001 |
厚薄膜 | 厚度测量范围 | 2㎛-150㎛ |
液体 | 折射率测量范围 | 1.0 to 2.4 |
(仅测折射率) | 折射率精度 | ± 0.0005 |
热光系数 | 温度测试范围 | 室温－150℃ |
波导损耗测量 | 测量限度 | below 0.05dB/cm |
三、应用
光通信系统的光学元件
- 光学开关
- 用于WDM的可变光衰减器（VOA）（波分复用）
- 低光传播损耗
塑料光纤（POF）
- 用于光通信的塑料光纤放大器（POFA）
- 用于波导的高温聚合物
温度依赖性
聚合物的性质
- 研究聚合物的铬性质
- 信息显示和处理
- 存储材料
纳米器件：MEMS，微电子
应用领域:
使用SPA系列棱镜耦合仪可以测量所有类型的薄膜/基材。具体请参看下面表格。
这些散装和独立式胶片是可测量的。
薄膜类型 | 衬底类型 |
氮化硅 | 氮化硅 | 硅 |
二氧化硅 | ITO | 砷化镓 |
硅氮氧化物 | 蓝宝石 | 石英 |
Low-K Films | 硫化锌 | 玻璃 |
聚酰亚胺 |
| 蓝宝石 |
聚合物 | Epi石榴石 | GGG |
光刻胶 | 全息凝胶 | 铌酸锂 |
