深圳金铂利莱科技有限公司
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实验室小型真空等离子清洗机，一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、点击、气体导入系统、工作传送系统和控制系统等部分组成。通常使用的真空泵是旋转油泵，高频电源通常用13.56MHz的无线电波。
01-高校实验室等离子表面处理机主要用于以下实验：
1、材料清洁和活化
2、等离子涂镀聚合
3、有机物去除
4、键合
5、等离子去胶
6、金属还原
7、表面刻蚀
8、材料老化实验
9、改变亲水性/疏水性
10、灰化表面有机层
当然，【金铂利莱】科技专注等离子表面处理方案，设备可以根据用途的不同，可选用多种构造进行特殊化定制。通过选用不用种类的气体，调整装置的基本结构大致是相同的，一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、点击、气体导入系统、工作传送系统和控制系统等部分组成。通常使用的真空泵是旋转油泵，高频电源通常用13.56MHz的无线电波。
02-高校实验室等离子表面处理机的运行过程如下：
（1） 将需要处理的样品放入真空室并加以固定，启动运行装置，开始排气，使真空室的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要2min。
（2） 向真空室引入等离子清洗用的气体，并使其压力保持在10pa以内。根据清洗材质的不用，可分别选用氧气、氢气、或氮气等气体。
（3） 在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而发生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体笼罩在被处理工件，开始清洗作业。一般清洗处理持续几十秒到几分钟。
（4） 清洗完毕后切断高频电压，并将气体及汽化的污垢排出，同时向真空室内鼓入气体，并使气压升至一个大气压.
03-什么是等离子体？
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊情况下可以以第四种状态存在。等离子表面处理机在科学研究各方面已经取得了广泛的运用，涉及光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域
04-高校实验室等离子表面处理机技术规格参数：
》腔体材料：不锈钢/石英舱体
》工作气路：两路，可以选配MFC控制
》射频频率：40KHz
》射频功率：0-200W/300W可选，可调
》控制系统：按钮+单排LED显示，实时显示和检测舱内真空度值
》时间范围：0—99分59秒连续可调
》工作压力：样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节
》工作气体：空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可
》进气压力：空气：常压
》连接气体钢瓶：0.1-0.3Mpa
》工作模式：手动模式和程序化自动模式
》真空泵：抽速：1升到5升每秒
》输入电源：~220V／50Hz
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