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湖南瑞峰腾润滑设备科技有限公司


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进口爱德华iH80干式泵维修及螺杆泵保养

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产品型号

品       牌

厂商性质经销商

所  在  地长沙市

更新时间:2017-10-19 14:26:12浏览次数:779次

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经营模式:经销商

商铺产品:65条

所在地区:湖南长沙市

联系人:陶先生 (业务经理)

产品简介

进口爱德华iH80干式泵维修及螺杆泵保养

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照Z高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率

详细介绍

进口爱德华iH80干式泵维修及螺杆泵保养

iH80 干式泵 爱德华iH80干式泵维修及螺杆泵保养 维修:(陶)

湖南瑞峰腾润滑设备有限公司专业维修各*干式螺杆泵。

 

概述

 

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照zui高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,

同时zui大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。

 

iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

应用

 

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

功能和优势

 

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

进口爱德华iH80干式泵维修及螺杆泵保养

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时zui大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。

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湖南瑞峰腾润滑设备科技有限公司

地址:湖南省长沙市宁乡县玉潭镇豪德建材城C区六街2栋48号

:+86

专线:  陶(业务)

+86


 

<strong><strong><strong><strong><strong><strong></strong></strong></strong></strong></strong></strong>

关键词:螺杆泵 真空泵

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