工作原理
陶瓷电容式压力传感器,这种干式陶瓷传感器可使过程压力直接作用于陶瓷膜片上(偏移小于0.025mm)。衬底电极和膜片电极可以检测出与压力成比例的电容变化。测量范围由陶瓷膜片的厚度来决定。
扩散硅压阻式压力传感器,过程压力使含有填充液的隔膜发生偏移,并被传送至一个电阻桥路上。与压力成比例的桥路电压将被测量和处理。
工作原理
陶瓷电容式压力传感器,这种干式陶瓷传感器可使过程压力直接作用于陶瓷膜片上(偏移小于0.025mm)。衬底电极和膜片电极可以检测出与压力成比例的电容变化。测量范围由陶瓷膜片的厚度来决定。
扩散硅压阻式压力传感器,过程压力使含有填充液的隔膜发生偏移,并被传送至一个电阻桥路上。与压力成比例的桥路电压将被测量和处理。