Pfeiffer 普发 HPA 220 质谱光谱仪分析设备
产品规格:
类型:
质谱
其他特性:
用于气体分析, 紧凑型
产品介绍:
在压力范围高达 50 hPa 下的气体分析
高压分析仪 HPA 220 是一个模块化、灵活实用的质谱仪系统,它带有一个干式涡轮分子泵组,可用于在压力高达 50 hPa 的真空中进行气体分析。
根据 HPA 220 的用途,有五种不同电动气动以及手动操作的进气口阀可供选择。
产品优势
由于其 5 种手动、电动气动操作的进气口选择,使得它在压力高达 50 hPa 压下为分析、监测和控制过程提供了很大的灵活性。
通过各种数字和模拟输入和输出,使系统集成方便而灵活。
多重操作允许多个质谱仪 系统只用一台电脑进行数据评估。
紧凑的尺寸实现灵活的集成。
应用
在 1 · 10-7 至 50 hPa 的压力范围内进行真空工艺的分析、监测和控制
真空镀膜系统的制造商和操作员
半导体生产
光刻
冶金
真空炉
研发