去除油滴(“烟雾”)
泵油蒸汽大大减少,减少污染,此外还需要定期补充泵油同样大大减少。出色的降噪效果
当泵从大气压开始,低真空泵送期间和气镇操作期间,噪音地降低。低频噪声特别降低。可选择的采油方法(可选)
当被困油直接返回主泵单元并重新使用时,过滤器的使用寿命会缩短,可能会出现泵问题。
由于截留的油的回收取决于泵的运行条件,请向Ulvac咨询有关您的特定泵送任务的建议,并帮助确保组件的正确匹配。与泵的简单连接
由于TM系列单元的连接端口与标准泵排气口相匹配,因此连接简单。(不包括VD601和VD901)内部过滤器滤芯是可更换的滤芯
更换此滤芯非常简单。(将旧TM-3,4和4S型号的过滤器更换为筒式过滤器时需要使用适配器)
* 1务必使用尺寸合适的油雾捕集器,以匹配泵的抽速和正在抽空的腔室容积。
* 2 PVD系列,VD151和VD201的连接需要适配器。
* 3 TMX-1和TMX-2型号不能使用油回收。
* 4 TMX-1,TMX-2和TM-2(旧型号)设备无法转换为盒式过滤器。
模型 | 附件法兰* 1 | 使用真空泵 | 重量(kg) | 材料 |
TMX-1 | 特殊法兰/ G1 1/2 | PVD-180(B)* 2 PVD-360(B) VD151 VD201 / TD> | 1.1 | 陷阱:低碳钢(SPCC) 过滤器:玻璃棉 |
TM201 | VF40 / G1·1/2 | VD301(低负载)* 5 VD401(低负载) | 8.5 | |
TM401 | VF40 / G1·1/2 | VD301(高负载)* 6 VD401(高负载) VD601(低负载) VD901(低负载) | 10 | |
TM-2 (标准,F)* 3 | VG50 / G2,VG50 (用于PKS-016) VF40 / G2,VG50 (用于VD601 / VD901) | PKS-016 VD601(适用于高负载)* 2 VD901(适用于高负载) | 5.7(6.2) *4 | |
TM-3 (标准,F) | VG80 / G3,VG80 (用于PKS-030) VF50 / G3,VG80 (用于VS1501) | PKS-030 VS1501 | 10.5(11.5)*4 | |
TM-4 (标准,F) | VG100 / G4,VG100 8用于PKS-070) VF50 / G4,VG100 (用于VS2401) | PKS-070 VS2401 | 23.5(25)*4 | |
TM-4S | VG100 / VG100 (适用于PKS-070) VF50 / VG100 (适用于VS2401) | PKS-070(适用于高负载) VS2401(适用于高负载) | 59 |
*1 | 泵连接法兰:JIS B2290真空法兰(特殊法兰除外)/排气管螺杆尺寸 |
*2 | 安装到PVD-180(B),PVD-360(B),VD151,VD201,VD601和VD901时需要适配器。 |
*3 | 标准:伞型; F:法兰型。 |
*4 | ()中的值表示附有法兰的质量。 |
*5 | 低负荷模型应具有连续的吸入压力 |
*6 | 高负荷模型应具有100kPa或更低的连续吸气压力。 |