简易型微量金属污染物质回收装置(SC系列)
与电脑连接,制作多样化的回收图案,从硅芯片的表面和侧面(斜面部)回收(取样)微量金属污染。
●由于不需要太多的外部资源,也不占用任何空间,因此设备的部署非常简单。
●由于是机械作业,因此不需要操作人员熟练,任何人都可以轻松取样。
●由于装置侧自动实施采样用药液的供给和保持具的移动,因此与SC-2000相比,可减少作业人员造成的污染。
●由于不需要太多的外部资源,也不占用任何空间,因此设备的部署非常简单。
●由于是机械作业,因此不需要操作人员熟练,任何人都可以轻松取样。