操作性好速度快AF?微米级深度高度测量仪Z轴驱动装置的功能

1.是结合了光切断的狭缝图像观察和点光图像的AF(自动对焦)追踪的新型深度高度测量机。2.通过连续追踪AF驱动，可实现高精度重复测量，操作性好，速度快。3。由于是一边观察狭缝图像映射出的台阶形状一边进行测量的方式，因此可以实时识别测量画面上的高低，可以容易地判断需要测量的部位。4.测定点处的狭缝图像·点光像·电子线基准线的中心全部一致的测量系统，通过检查偏差，可以防止用错误的数值进行测量。5.光切断的仰角除了标准的90°外，还可以根据用途选择导入30°60°120°。