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高精度无掩膜光刻系统

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  德国Nansocribe全资子公司 -
 
  德国Nanoscribe成立于2007年,总部位于德国卡尔斯鲁厄,于2017年在中国上海成立分公司 - 纳糯三维科技(上海)有限公司。作为Nanoscribe在中国全资子公司,其加强了德国的新技术在中国的销售推广;在巩固并扩大现有业务关系的同时,进一步扩大了在整个亚太地区客户服务范围,负责系统的安装,维护,以及相关培训任务。分公司新建立的亚太实验室可供客户参观和学习。
 
  目前,超过30个国家,1500名用户正在使用Nanoscribe设备。排名*的大学里已经有六所购买了Nanoscribe打印设备,这些大学包含哈佛大学、加州理工学院、牛津大学、伦敦帝国理工学院和苏黎世联邦理工学院、斯坦福大学等等。
 
  Nanoscribe公司的Photonic Professional GT系列是目前*的打印精度zui高的3D打印机。跟传统的以激光立体光刻为代表的高精3D打印机相比,利用双光子聚合技术原理的Photonic Professional GT系列能够轻松打印出精细结构分辨率高出100倍的三维微纳器件。
 
  不管是在科研领域还是在工业界,双光子加工都被认为是非常具有应用前景的精细加工技术之一。作为市面上双光子加工技术的翘楚,Nanoscribe 系列微纳加工打印系统提供了全智能的软件操作界面以及标准化3D作业流程,能够实现多种材料的增材制造。Nanoscribe帮助推动着诸如力学超材料、激光快速成型,微纳机器人,再生医学工程,微纳光学,微机电以及等离激元等多个创新领域的研究。
 
微纳3D打印设备
全新的Nanoscribe Quantum X系统适用于工业生产中所需手板和模具的定制化精细加工。该无掩模光刻系统改变了自由形状的微透镜、微透镜阵列和多级衍射光学元件的传统制作工艺。全球first双光子灰度光刻(2GL®)系统将具有优异性能的灰度光刻与Nanoscribe精确灵动的双光子聚合技术结合起来。Quantum X提供了高设计自由度、高速的打印效率、以及增材制造复杂结构超光滑表面所需的高精度。快速、准确的增材制造工艺极大地缩短了设计迭代周期,实现了低成本的微纳加工。
高精度无掩膜光刻系统 产品信息

Nanoscribe工业级高速灰度光刻微纳打印系统 - Quantum X

德国Nanoscribe公司在2019慕尼黑光博会展 LASER World of Photonics上发布了全新工业级双光子灰度光刻微纳打印系统 Quantum X ,并荣获创新奖。该系统是世界first基于双光子灰度光刻技术(2GL®)的精密加工微纳米打印系统,可应用于折射和衍射微光学。该系统的面世代表着Nanoscribe已进军现代微加工工业领域。具有全自动化系统的Quantum X无论从外形或者使用体验上都更符合现代工业需求。

Nanoscribe高速灰度光刻微纳加工打印系统技术要点

这项突破性的技术将微纳增材制造和超高速体素大小调节结合在一起:双光子灰度光刻(2GL)是一种具有超高速、超精确的可以满足自由形态的微加工技术,同时又不影响速度和精度。

Quantum X通过实时调制激光功率的技术在扫描平面上控制体素的大小。通过这种方式,具有复杂几何形状的结构可以被制造出来,同一物体中跨尺度的细节能够实现一步打印。无论是离散的,还是连续的复杂结构均可以在最大可达6英寸的晶圆片基板上精细打印,而不需要额外的光刻步骤或掩模制造。

 

Nanoscribe高速灰度光刻微纳加工打印系统 - 多种*智能化解决方案
·配备自动识别匹配不同物镜,样品架以及树脂的功能,有助于样品制备和硬件配置之间的切换,从而加快整个工作流程。

·配备从始至终的智能软件向导功能,以简化从初准备到创建打印作业的整个流程。

·配备三个实时监控摄像头可同时监管打印作业并支持直观操作。现在用户可以直接在内置触控屏上随时检查作业状态,控制打印过程并可随时显示和调整打印效果。

 

技术参数
产地:德国全进口

打印技术:双光子灰度光刻 (2GL)

三维横向特征尺度:160nm

**分辨率:400nm

小表面粗糙度:≤10nm

激光扫描速度:≤250mm/s


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