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英国牛津Cryo-Plex 8LP （low profile） 低温泵
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- 常州锐品精密仪器有限公司
- 2017-03-01 22:16:55
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【简单介绍】
Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换，从而大大方便使升级、维修、交换等服务。
【详细说明】
英国牛津Cryo-Plex 8LP （low profile） 低温泵
在部分半导体生产设备里，低温泵的安装收到空间限制，此时Cryo-Plex 8LP 低温泵是很好的选择。
标准设计
Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换，从而大大方便使升级、维修、交换等服务。
灵活配置
ANSI、ISO、CF等多种法兰接口
| Cryo-Plex 8LP |
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| Gas Pumping speeds - liters/second |
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| Water | 4,000 |
| Air | 1,500 |
| Hydrogen | 2,200 |
| Argon | 1,200 |
| Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr |
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| Hydrogen | 12 |
| Argon | 1,000 |
| Throughput |
|
| Argon sccm | 700 |
| Crossover |
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| Torr-liters | 150 |
| Cool down time |
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| 60 Hertz | 90 min |
| Cryopump measurements |
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| Height | 7.03" |
| Length | 22.6" |
| Weight LBS | 42 |
| Inlet flange | ANSI/ISO/CF |