为了提高精密划片机主轴系统的旋转精度和刚度,设计了一种带有可变节流器与可变均盘式干燥机压槽相结合的动静压气体径向真空微波干燥设备,通过气膜压力反馈使弹性薄板产生变形,控制节流器与均压槽参数发生变化,从而提高真空微波干燥设备刚度.详细介绍了该真空微波干燥设备的结构、工作原理与工作过程,并与普通双排八孔动静压空气径向的承载力干燥设备和刚度特性进行了对比试验分析,结果表明该新型的承载力和刚度均明显高于普通.随着集成电路由大规模向超大规模发展，集成度越来越高，划片工闪蒸干燥机艺的晶圆片成本也大幅增加。晶片直径越来越大，目前已达到中300mm；划切槽越来越窄，一般在30一40林m。这对于以金刚石砂轮作为刀具的强力磨削加工工艺来说，己进人临界尺寸；硅片直径由例50mm增大到倪oomm，面积只增加78%，但其中可供芯片利用的面积增加了90%，晶圆片的成本和价值大幅度

增加，这些给划片机的加工精度、可靠性、稳定性提闪蒸干燥机出越来越苛刻的要求，使划片设备的设计技术更加复杂，加工制造更加困难·‘〕。鉴于其技术的复杂性，大尺寸精密划片机需要有效解决机械系统的高刚度、高稳定性、低损耗等一系列技术问题t'！。划片机盘式连续干燥机的切割机理是强力磨削，其通过主轴带动金刚石外圆刀具高速旋转（3。oo一60000r/min）切割晶片。主轴是强力磨削的执行部件，其轴线干燥设备旋转精度、刚度和运转的平稳性直接影响划片机的精度，是划片机的核心部件，因此，要求主轴旋转精度小于2卜m。目前，精密划片机中的真空干燥机主轴系统一般采用高速电主轴，的性能对电主轴的使用功能极为重要。目前电主轴采用的主要有滚动、磁悬浮和气体。滚动刚度高、标准化程度高、结构简单紧凑、价格适中．主要适用于速度和精度要求不是很高的情况；磁悬浮高速性能好、精度高，容易实现诊断和在线监控，但由于电磁测控系统复杂，价格昂贵，至今未能得到广泛应用r"；气体具有转速高、精

度高、结构紧凑、摩擦功耗低、使用寿命闪蒸干燥机长等优点，特别适合做高速回转副的支承元件〔‘」。但由于气体本身所固有的物理特性的限制，仍不能克服气体承载能力和刚度较低这一主要缺点，而这正是限制其应用范围的一个主要真空干燥机因素。目前国内、外也出现了很多提高静压气体刚度、精度的方法，有传统改进型、被动控制型、主动控制型、复合控制型等【’一”1。在此提出一种带有可变节流器与可变均压槽相结合的动静压气体径向新结构。1真空干燥机结构与原理1.1结构所设计·的新型高刚度动峥压气体径向结构如图1所示。其介绍了大包转台用推力关节的设计和加工要点,并详细介绍了该的摩擦副选择、固定,润滑槽的干燥设备设计,双金属材料的加工与整形以盘式连续干燥机及轴圈、座圈的加工.大包转台是连铸技术的重要组成部分，是连铸机的主要平台设备，其主要任务是支承钢包，将钢包由受包位回转到浇铸位。钢包升降由两支升降液压油缸推动，油缸两端各连接一套推力关节，承受钢包及提升臂的全部质址并随油缸升降做来回摆动，工况极其恶劣。因此，有必要对大包转台用推力关节进行研究。大包转台推力关节（图l）承受的轴向载荷很大，转速较低，在土12”范围内每天摆动15次，环垅温度在80℃以内，周围环境较脏，可能会有脏物进人，